是很稳定,不太容易实现自动化的控制,而且生产率也比较低。
与此同时,由于抛光垫是具有一定弹性的有机织物,在抛光时对表面材料去除的选择性不高,会导致产生包括过度抛光、氮化物腐蚀、碟形凹陷等各种各样的缺陷。
除此之外,传统的化学机械平坦化技术还有几种其他的缺陷,而这些都是有可能通过改进来获得提升的。
宁晨在脑海中,快速思考着这些问题的解决方式,同时结合着小智的模型化处理能力,来对自己的这些想法进行基本的测试。
经过一番高强度的分析和思考之后,宁晨突然想到了一种解决问题的方向。
“有了……如果能够在磨料中加入树脂结合剂,形成具有全新复合结构的抛光垫,代替传统化学机械平坦化技术中的游离磨粒和抛光垫,理论上就是可以达到更好的效果的!”
这样的方式,由于采用的是固结磨料抛光垫,其中并没有游离磨粒,可以大大减轻在平坦化过程中造成的磨损。
在经过小智模型化处理功能的验证之后,宁晨确定了这个方向的可行性的确很高,完全有可能解决传统化学机械平坦化技术中,存在的各项问题。
宁晨马上将整个方案整理了出来,当宁晨完成了这项工作之后,看了一眼时间,也不过才晚上十一点而已。
“真没想到,我能在今天晚上就把新的实验方案给做出来了。”
宁晨对于自己的速度也有些诧异,而且这还是在没有利用任何系统特殊技能的情况下,所达成的效果。
“看来,在脑力提升之后,我的思考速度又有了一些提升啊。”宁晨心说道。
请收藏:https://m.jinghuashuge.cc
(温馨提示:请关闭畅读或阅读模式,否则内容无法正常显示)